合肥先微半導體(tǐ)材料有限公司高純電子氣體(tǐ)新材料項目 環境影響報告書(shū)和公衆參與說明報批前公示

1、環境影響報告書(shū)信息公示說明

合肥先微半導體(tǐ)材料有限公司高純電子氣體(tǐ)新材料項目位于合肥新站高新技術産業開(kāi)發區珠城西路與通寶路交口西北(běi)角。拟建設電子氣提純生(shēng)産線、準分(fēn)子激光氣體(tǐ)混配生(shēng)産線、電子氣分(fēn)裝生(shēng)産線、半導體(tǐ)級高純氣體(tǐ)純化器生(shēng)産線和超潔淨鋼瓶處理線；項目實施後高純三氟化硼（BF3）提純年産300噸；超純四氯化矽（SiCl4）提純年産300噸；年産準分(fēn)子激光氣28000瓶，（其中(zhōng)193波長激光氣0.95%F2+3.5%Ar+Ne\13.5%Ar+10ppmXe+Ne，各3000瓶；248波長激光氣0.95%F2+1.25%Kr+Ne\1.25%Kr+Ne，各5000瓶；308波長激光氣4.5%HCl+1%H2+Ne\0.5%HCl+Ne\100ppm-10%H2+Ne，各4000瓶）；高純氧氣（O2）分(fēn)裝年産1000噸；高純氫氣（H2）分(fēn)裝年産40000瓶；高純八氟丙烷（C3F8）分(fēn)裝年産300噸；高純一(yī)氧化二氮（N2O）分(fēn)裝年産3000噸；超純二氧化碳（CO2）分(fēn)裝年産10000噸；高純氮（N2）分(fēn)裝年産3000噸；高純氩（Ar）分(fēn)裝年産3000噸；高純氦（He）分(fēn)裝年産20000瓶；液氦分(fēn)裝年産50噸；半導體(tǐ)級高純氣體(tǐ)純化器年産1000套；超潔淨鋼瓶年處理量20000隻。另進行甲烷（CH4）、矽烷（SiH4）、氯氣（Cl2）高純電子氣體(tǐ)産品儲存經營，年經營量分(fēn)别爲50t/a、10t/a、50t/a。

根據《環境影響評價公衆參與辦法》，現将項目環評報告及公衆參與說明（見附件）進行報批前公示。

2、建設單位及聯系方式

建設單位：合肥先微半導體(tǐ)材料有限公司

聯系電話(huà)：13665699325

聯系人：劉總

聯系地址：合肥新站高新技術産業開(kāi)發區珠城西路與通寶路交口西北(běi)角

3、環評單位及聯系方式

評價機構：深圳市浩元達科技有限公司

聯系方式：0551-65614551

聯系人：高工(gōng)

聯系地址：合肥市廬陽區蒙城北(běi)路108号

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